在半导体制造中，晶圆、光罩及先进封装器件的检测必须在ISO Class 1–5级洁净室内进行。大平台半导体显微镜作为关键分析设备，其设计必须满足超低颗粒释放与抗微振动干扰两大核心要求，否则将导致污染或成像模糊。
一、防尘设计要点
全封闭光路与外壳：光学系统全部密封，防止外部微粒进入物镜或目镜内部。外壳采用无缝焊接或IP54以上防护等级，避免缝隙积尘。
低释气材料：所有塑料、橡胶部件均选用符合SEMI F57标准的低挥发性材料，避免在真空或高温环境下释放有机物污染晶圆。
正压气帘保护：在载物台周围通入经过HEPA过滤的洁净压缩空气，形成气帘屏障，阻止操作人员带入颗粒。
无风扇散热设计：采用被动散热或外置冷却模块，避免内置风扇搅动空气并携带颗粒。
二、低振动结构设计
重型花岗岩基座：整机底座采用高密度花岗岩(阻尼系数高)，有效吸收地面传导振动。
气浮隔振平台集成：部分型号可直接安装于气浮光学平台，隔离频率低至0.5Hz的微振动。
电动部件优化：X-Y电动平台采用直线电机替代步进马达，运行平稳无抖动；对焦机构使用压电陶瓷驱动，实现纳米级静音移动。
线缆管理：所有信号与电源线采用屏蔽软管固定，避免操作时晃动引入机械噪声。
三、洁净室部署建议
安装前进行整机颗粒测试(如用激光粒子计数器扫描表面)；
避免放置在FFU(风机过滤单元)直吹区域；
定期用无尘布+IPA清洁外壳，禁止使用喷雾清洁剂。
通过上述设计与管理措施，大平台半导体显微镜可在严苛洁净环境中稳定运行，确保在200倍以上高倍观察下仍获得清晰、无噪的图像，为制程控制与失效分析提供可靠支撑。
欢迎来到上海蔡康光学仪器有限公司网站！
咨询电话：13917369745
联系人：李宁
地址：上海市嘉定区顺达路98弄41号（南翔现代企业园）
邮箱：sales@caikon.com
传真：021-65310155
电话：021-35050386,35050353,59960929,59960930