大平台半导体检查显微镜（芯片/晶圆）

光学系统

无限远色差校正光学系统

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光学放大倍数

50倍-500倍(可选500/1000倍)

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数码放大倍数

150倍-1500倍（21.5寸显示器）

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工业相机

2000万1寸彩色索尼工业芯片（可选630万）

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观察筒

正像，无限远铰链三通观察筒，瞳距调节：50mm~76mm，两档分光比双目:三目=100：0

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反像，无限远铰链三通观察筒，瞳距调节：50mm~76mm，两档分光比双目:三目=100：0

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目镜

高眼点大视野目镜SWH10X-H/23mm，视度可调

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高眼点大视野目镜SWH10X-H/25mm，视度可调

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物镜

无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜5X NA0.15 WD14.8mm

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无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜10X NA0.30 WD8.5mm

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无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜20X NA0.45 WD11.9mm

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无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜50X NA0.75 WD3.0mm

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无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜100X NA0.80 WD3.0mm

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无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜100X NA0.90 WD1.0mm

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物镜转换器

5孔明暗场手动物镜转换器（带DIC插槽）.

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5孔明暗场电动物镜转换器（电动/带DIC插槽）.

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机架

上光源

反射用机架, 低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统，采用数字调光，具有光强设定与复位功能

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载物台

6英寸平台，平台面积 450*240mm，移动行程：158mmX158mm机械平台，X、Y方向同轴调节；含快速移动装置

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聚光镜

摇出式消色差聚光镜（N.A.0.9）

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干涉片

诺曼尔斯基微分干涉片

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反射照明器

明暗场反射照明器，带可变孔径光阑，视场光阑，中心可调，带滤色片插槽，带起偏镜/检偏镜插槽，

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灯室

10W可调LED灯室，透、反射通用，预定中心

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摄像接口

摄影摄像附件：0.65X，C型接口，可调焦（可选0.5X/1X）

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偏光组件

起偏镜插板，360°旋转式检偏镜插板

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电脑

品牌电脑和显示器

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测量软件

测量软件，软件控制电动物镜转盘，拍照，录像，测量，实时图像拼接，景深融合

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标尺

高精度型测微尺，格值0.01mm

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